技術文章

Technical articles

當前位置:首頁技術文章無氧烘箱是如何實(shí)現無氧環(huán)境的?

無氧烘箱是如何實(shí)現無氧環(huán)境的?

更新時間:2023-12-21點擊次數:2275

無氧烘箱是如何實(shí)現無氧環(huán)境的?



随著(zhe)各類産品工藝的日益精進和要求的提高,催發瞭(le)無氧烘箱在工業用途上的普及。尤其是半導體行業,在此類烘箱的需求上日益旺盛。

 

那麽我們所說的無氧烘箱是如何實現無氧環境的呢?下面海向小編(biān)給(gěi)大家介紹一下:

 


無氧烘箱内部工作室的無氧環(huán)境主要是通過(guò)氮氣置換來實現的。

 

往設備(bèi)腔體内經專用進氣口和導(dǎo)管充入高純氮氣,氮氣的一般純度在99.99%以上(可以根據不同産品對氧含量的不同要求來選擇氮氣純度)。

 

海向無氧烘箱的氮氣排氧控制系統採(cǎi)用雙路氮氣導(dǎo)入回路,各向箱内提供0~100L/min+0~480L/min的氮氣,每路配套進口電(diàn)磁閥,雙流量自動切換,到達(dá)設定濃度自動(dòng)關閉(bì)保持低氧濃度環境自動(dòng)切換(huàn)至低流量氮氣,大大節省氮氣消耗量,也可根據工藝制程要求,自行設定,滿足多種工藝需求。

 

氮氣壓力檢測-100kpa~100kpa可設定,當(dāng)腔内内部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報(bào)警切斷進氣閥門。

 

海向建議大型氮氣烘箱或者氧含量要求較低的,最好自己工廠(chǎng)具備(bèi)制氮機,因爲保持較低的氧含量就需要不間斷的充入氮氣,對氮氣的流量要求較大,而瓶裝氮氣的成本相對較高,故有制氮機是較佳選擇。

 

氮氣進入後,經過高溫加熱再通過過濾器,反複循環,達到要求的數值。目前,氧含量檢測(cè)主要基於(yú)氧氣傳感器。接通電源,達到一定值,氧氣傳感器,開始檢測。

 

海向建議:不要長時間在潔淨室外使用設備。長期在有塵環境使用。空氣中的大量顆粒灰塵會(huì)大大降低空氣濾(lǜ)清器的壽命。